智通财经APP获悉，据供应链消息人士的透露，台积电(TSM.US)已向阿斯麦(ASML.US)下达2021年至少13台的EUV(极紫外)光刻机订单。
在先进制程竞赛中，台积电5nm已如期在2020年第2季度登场，且明确揭露未来制程推进规划，包括2021年再推出5nm加强版，隶属于5nm家族的4nm工艺预计2021年第4季试产，2022年量产。
另外，3nm工艺也维持先前预期，2021年进风险试产，2022年下半量产，而2nm的竹科研发中心、生产基地早已开始动工，传出已取得苹果(AAPL.US)新单协议，同时也开始1nm制程的规划。
据估算，至2020年底，台积电EUV设备采购量累积达30多台，光是5/3nm节点的南科厂目前就达20台，比三星、英特尔(INTC.US)现有EUV光刻机还要多，预估至2021年底总计将逾50台，三星晶圆代工届时约30台。
据了解，阿斯麦新接到的极紫外光刻机，单台的订单价格在1.5亿欧元左右，台积电在2021年预订至少13台，意味着将花费约19.5亿欧元。
