危机过后,阿斯麦(ASML.US)即可向中芯国际(00981)交付EUV光刻机?

30392 4月1日
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本文来自微信公众号“芯智讯”,作者:林子。

早在2018年初,阿斯麦(ASML.US)与中芯国际(00981)正式达成了首台最先进的EUV光刻机的采购订单,价值约1.2亿美元,原本预计将于2019年底交付,但是却因荷兰政府没有向阿斯麦发放新的出口许可证,导致迟迟无法交付。外界都认为,这是受到了美国政府的干预。虽然,荷兰政府否认了这一说法。

近期,受公共卫生事件的影响,阿斯麦也下调了对于今年1季度的营收预期,减少了1/4左右,预期营收为24-25亿美元。而根据阿斯麦此前公布2019年财报显示,2019年交付了26台EUV光刻机,预计2020年交付35台EUV光刻机,2021年则会达到45台到50台的交付量,是2019年的两倍左右。阿斯麦表示公共卫生事件没有对他们的光刻机生产制造带来影响,需求也没发生变化,只是供应链被限制,导致交付延期。阿斯麦称一季度无法确认的订单将转移到今年二、三季度中。

另外,阿斯麦还出乎意料的对外表示,“受到公共卫生事件影响,公司提供给武汉以及其它地区客户的EUV设备出货,因旅游限制而被延迟”。阿斯麦这里提到的EUV设备的武汉客户应该就是中芯国际。因为中芯国际在武汉有一座12英寸晶圆厂,并且此前国内也只有中芯国际向阿斯麦订购了一台EUV光刻机。

也就是说,目前阿斯麦向中芯国际交付光刻机除了公共卫生事件影响之外,已经没有了其他阻碍,只需等待因公共卫生事件过后即可交付。显然,这对于中芯国际来说无疑是一个好消息。不过,在真正交付之前,我们还是不要太乐观,毕竟这不是阿斯麦自己说了算的,还需要看荷兰政府是否有向阿斯麦发放新的出口许可证,以及美国后续是否仍然会出手阻挠。

值得一提的是,3月31日晚间,中芯国际发布了2019年年报。根据年报显示,2019年中芯国际营收31.16亿美元,毛利润6.425亿美元,毛利率20.6%,年内利润为1.59亿美元,同比增长1.06倍。公司拥有人应占利润为2.347亿美元,同比增长75%。

中芯国际表示,集团在先进先进研发方面也取得了突破性进展。第一代14nmFinFET技术已进入量产,在2019年四季度贡献约1%的晶圆收入,预计在2020年稳健上量,而第二代FinFET技术平台持续客户导入。

而对于后续的先进制程,此前中芯国际联席CEO梁孟松博士也透露了中芯国际后续的N+1、N+2工艺的情况。

梁孟松博士表示,中芯国际的N+1工艺和现有的14nm工艺相比,性能提升了20%,功耗降低了57%,逻辑面积缩小了63%,SoC面积减少了55%。从逻辑面积缩小的数据来看,应该是7nm工艺。梁孟松博士也表示,N+1代工艺在功耗及稳定性上跟7nm工艺非常相似,但性能要低一些(业界标准是提升35%),所以中芯国际的N+1工艺主要面向低功耗应用的。而在N+1之后,中芯国际还会有N+2,这两种工艺在功耗上表现差不多,区别在于性能及成本,N+2显然是面向高性能的,成本也会增加。

此外,梁孟松博士还表示,在当前的环境下,N+1、N+2代工艺都不会用EUV工艺,等到设备就绪之后,N+2之后的工艺才会转向EUV光刻工艺。这也意味着后续的第一代的7nm工艺,中芯国际无需EUV光刻机也能实现量产。

但是N+2之后的先进制程则必须依赖于EUV光刻机才能实现。相比之下,台积电和三星的基于EUV工艺的7nm早已量产,马上新一代的5nm工艺也即将量产。因此,对于中芯国际来说,越早拿到EUV光刻机,也就越早能够开始基于EUV工艺的先进制程的研发和测试。


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