智通财经APP获悉，5月17日，上海证券交易所发布公告称，终止对中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(简称“中科仪”)首次公开发行股票并在科创板上市审核的决定。
据上交所公告显示，2021年05月13日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司因发行人撤回发行上市申请或者保荐人撤销保荐。根据《审核规则》第六十七条（二），上交所终止其发行上市审核。
招股书显示，中科仪主要从事干式真空泵、真空仪器设备的研发、生产和销售，并提供相关技术服务。干式真空泵是半导体制造工艺设备的核心附属设备，为集成电路、光伏、LED、平板显示、锂电池等行业的生产设备提供所必需的高度洁净真空环境。
